性能规格：

孔径大小等级：

0.03, 0.05, 0.1, 0.2, 1.0 micron (μm)

最大压差：

3.40 bard (3.47 kg/cm2d, 49 psid) @25°C (77°F)

最大操作温度:

60°C (140°F)

膜区域：

16:1500 cm2

40:3500 cm2

应用：

193nm和248nm光刻胶系统过滤

遗留光化学过滤

适用于显影剂和去离子水