性能规格：

颗粒滞留：

移除99.99% 以上较大颗粒

直径0.003um (已在大多数是渗透性颗粒的环境中证实过)

最大压差：

3.4 bard (3.47 kg/cm2d, 49 psid) @ 21°C(69.8°F)

5.5 bard (5.61 kg/cm2d, 80 psid) @ 121°C(249.8°F)

推荐流速:

上限300 slpm (10 scfm)

最大操作温度:

170°C (338°F)

水分：

< 10 ppb

应用：

高纯度的压缩空气
处理特殊气体
在分配箱中
有毒气体